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关于多线切割技术的发展历史介绍

来源:www.jschsk.com发表时间:2021-09-15

先来简单介绍一下人类历史上的线切割历史:
公元前2000年:古埃及人用混合了水和沙的绳子切割石头
公元19世纪:意大利人用缆绳切割大理石
公元20世纪60年代:出现用线的往复运动来切割水晶片
公元20世纪70年代:利用线的往复运动来切割1-2英寸的硅片
  在上世纪80年代以前,人们在切割超硬材料的时候一般采用涂有金刚石粉的内圆切割机进行切割。然而随着半导体行业的快速发展,人们已经难以满足现有的生产效率,同时由于内圆切割会造成材料的损失非常大,在半导体行业成本的摩尔定律作用下,人们对于降低切割成本、提高效率方面的要求越来越高。从而多线切割技术逐步发展起来。
  多线切割机的基本原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料摩擦硅棒,从而将硅棒等硬脆材料一次同时切割为数千片薄片的一种切割加工方法。多线切割机由于其效率更高、切割损失更小以及更高精度的优势,对于切割一些贵重、超硬材料有着很大的优势,近十年来已取代传统的内圆切割成为硅片切割加工的主要方式。
  在2003年以前,多线切割机主要用于半导体行业的需求,切割技术主要掌握在欧、美、日、台等国家和地区,国内半导体业务以封装业务为主,上游的晶圆切割技术远远落后于发达国家和地区,相关的设备制造研发也难有进展。
  2003年随着太阳能光伏行业的爆发式增长,国内民营企业的硅片切割业务迅速发展起来。大量引进了瑞士和日本产的先进的数控多线切割机。国内设备制造企业也看到了这个巨大的商机,纷纷投入资金和人力物力进行技术研发。但大多数都是仍以仿制为主。
  2009年开始有一些厂家开始尝试将在其他行业比如蓝宝石切割使用的金钢线切割技术引入到硅片切割领域。



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